De interactie van ClF5 met water in watervrije waterstoffluoride-oplossingen werd onderzocht met behulp van Raman-spectroscopie. De reactie tussen ClF5 en H2O levert slechts één product op (ClO2F), ongeacht de temperatuur van het proces, de hoeveelheid en de concentratie van de chemicaliën. ClOF3 werd ook niet gevormd tijdens de interactie van ClF5 met hydraten van de volgende metalen: Ni, Mn, Al en Si en B2O3. Het mechanisme zal worden besproken.
De interactie in het systeem H3OBF4-HF-ClF5 in het temperatuurgebied 293-273 K resulteert in praktisch kwantitatieve opbrengst van ClOF2BF4. De vorming van ClOF2BF4 werd voornamelijk bepaald door twee opeenvolgende reacties H3OBF4+ClF5→ClOF2BF4+3HF (1) ClOF2BF4+H3OBF4→ClO2BF4+BF3+3HF (2)
Aannemende dat er sprake is van een bimoleculaire reactie met k1⪢k2, =k1/k2 , wordt de opbrengst van het eindproduct bepaald door fase (1). Onder k2⪢k1, =0 is er geen accumulatie van het product.
De opbrengst van het product hangt sterk af van de zuiverheid van ClF5; binnen het aangegeven temperatuurbereik is de opbrengst constant.
De invloed van ClF3 wordt verklaard door de volgende gelijktijdige reacties H3OBF4+ClF3→ClOBF4+3HF (3) ClOBF4+ClF5→ClOF2BF4+ClF3 (4) 2ClOBF4→ClO2BF4+ClF+BF3 (5)
Met ClF5/ClF3>6 wordt de afname van de H3OBF4-concentratie gecompenseerd door de vorming van het tussenproduct ClOBF4 en neemt de productie van ClOF2BF4 niet af.